1

铅屏蔽箱体整体结构

外围几何尺寸：W3185mm×H2042mm×D1800mm，不包含风冷式水冷机组和空压机，噪音≤56dB。

2

真空室

Φ600mm×800mm，卧式安装，单层304不锈钢，左上设置高能气体离子源、右上测设置高能金属离子源，真空室底部设置分子泵管道法兰接口、接真空抽气系统管道，前后两端平板门可全开、前后两端平板门中心设置观察窗；极限真空压强＜2×10^-4Pa，系统漏率＜1×10-9Pam³/S，压升率＜0.5Pa/h。

3

高能气体离子源

10KeV～70KeV，束斑直径Φ100mm，在Φ100mm束斑直径范围内离子流可达5mA，离子束流不均匀性小于±15%；具有注入剂量检测和控制。

4

高能金属离子源

加速电压10KeV～50KeV，束斑直径Φ100mm，在Φ100mm束斑直径范围内离子流可达5mA，离子束流不均匀性＜±15%。具有阴极自动推进功能；具有注入剂量检测和控制；可精确控制注入时间(秒量级)。

5

移动式样品平台架

直径Φ100mm，具有加热和冷却功能。可更换加热和冷却样品台台面。可前后平移定位于离子源正下方。在冷却工作方式下，样品台可通入冷却水(水温5℃～25℃，由冷水机控温)。在加热工作方式下，样品台用卤素灯加热，最高加热温度500℃，用温度控制仪调节温度，用热偶检测加热样品台背面温度。

6

控制系统

PLC+触摸屏

7

离子能量

≤100KeV

8

离子剂量

≥1×1017/cm² h

9

离子类型

N、C、H、Ti、Ag……

10

供电要求

三相五线制50Hz/60Hz、3×AC380V(±5%)-N＋PE，功率15KVA。具备独立高压接地体，接地电阻≤1Ω

11

环境要求

温度：0℃～40℃；湿度：＜90%相对湿度，无冷凝水或结冰；冷却空气：不含腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒及吸潮后变成导电的颗粒；冷却水：配风冷式水冷机组，进水温度20℃～25℃，进出水压差0.15MPa～0.3MPa，冷却水应使用软化水避免结垢，冷却管道应连接牢固避免泄漏，工作时必须保持冷却水畅通。