离子注入设备与工艺

离子注入材料表面技术是将载能离子注入到材料表面,引起表面成分及结构改变, 以改善材料耐磨、耐蚀、润滑、抗疲劳等特性,达到延长工件使用寿命。该技术具有处理后, 不改变工件的外型尺寸、表面光洁度,表面优化层与基体无截然界面,没有剥落问题,处理过程精确可靠等突出优点而成为材料处理的一个独具特色的高新技术,另外离子注入技术还可用于生物育种、菌种改良等到众多领域。

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