真空室：
·1#真空室：内腔尺寸φ2800mmx3000mm
·2#真空室：内腔尺寸φ2400mmx3000mm
·3#真空室：内腔尺寸φ2000mmx2000mm
真空抽气系统：
·漏率：<1.3x10-10Pam3/s
·极限真空：<5x10-4Pa
地址：成都市双流区西航港大道中四段219号
邮编：610207
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