主要功能:

采用等离子体离子刻蚀和离子镀膜技术相结合，在低温条件下，对复合材料表面制备功能涂层。功能涂层具备良好的介电特性，以及优异的基体结合性能。设备配置阳极层离子源、磁过滤等离子体源和伸缩磁控溅射源等专利技术，可对长度超过3000mm的产品进行功能涂层制备，设备采用全自动控制技术，可实现工艺和产品生产一键式操作。

应用领域:

·可实现对大型产品的批量处理。

·半导体、3C电子、汽车、航空航天、核工业、能源、船舶等众多工业和民用领域。