一. 真空室：
1. 真空室：内腔尺寸Ф2800mm×3000mm，单层304不锈钢
2. 真空室：内腔尺寸Ф2400mm×3000mm，单层304不锈钢
3. 真空室：内腔尺寸Ф2000mm×2000mm，单层304不锈钢
二. 真空抽气系统
1. 漏率：＜1.3×10-10Pam3/s
2. 极限真空达到5×10-4Pa
地址：成都市双流区西航港大道中四段219号
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