主要功能：

利用高能离子束注入掺杂与基体相互作用，提升金属样品表面耐磨损、抗腐蚀性能，改变介质材料表层介电特性，改善聚合物材料表面性能，改变生物材料基因特性等。设备配置一套高能气体离子源和一套高能金属离子源，可实现不同气体离子和金属离子的单元、多元或混合注入。配置加热和水冷样品台，可对注入样品进行加热或冷却处理。

                                                           高能气体离子源(左上侧)、高能金属离子源(右上侧)                                                                                      

移动式样品平台架(真空室内部)

应用领域：

• 实验研究和小量样品实验。