真空设备


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技术参数

一. 真空室:

1. 真空室:内腔尺寸Ф2800mm×3000mm,单层304不锈钢

2. 真空室:内腔尺寸Ф2400mm×3000mm,单层304不锈钢

3. 真空室:内腔尺寸Ф2000mm×2000mm,单层304不锈钢

 

二. 真空抽气系统

1. 漏率:<1.3×10-10Pam3/s

2. 极限真空达到5×10-4Pa

地址:成都市双流区西航港大道中四段219号

邮编:610207

电话:028-82820926 028-82820927 028-82820929

传真:028-82820932 028-82820926

邮箱:tc@swip.ac.cn

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