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小型离子束沉积镀膜设备

发布时间:2019-04-29 来源: 浏览次数:15

同创又一台设备“小型离子束沉积镀膜设备”离厂发运,本设备采用双层不锈钢立式真空室,有离子束预清洗功能、磁过滤等离子体源沉积金属和化合物薄膜,磁控溅射沉积金属和化合物薄膜,PLC自动控制系统。

为保证按期完成,清明节小长假,电气部、机械部部分人员放弃休息,加班加点,连续作战,不畏疲劳。在设备起运后,整装待发,近期将奔赴用户住地,完成安装调试任务。

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